中微公司计划投入130亿元研发资金

记者从中微半导体设备（上海）股份有限公司获悉，截至今年6月底，该公司累计有超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。自2012年至今，公司已连续14年保持平均年销售35%以上的增长。

中微公司创始人、董事长兼总经理尹志尧说， 22年前，公司在上海张江从零起步。如今，公司已开发出50多种高端半导体设备，包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备，24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。未来3年至5年，公司计划累计投入约130亿元研发资金；通过自主开发与外延并购，覆盖100多种半导体高端设备。