2026-07-09 13:42:10
7月8日,2025年度国家科学技术奖励大会在北京隆重召开。由同济大学牵头完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目荣获国家科学技术进步奖一等奖,项目由同济大学、上海御微半导体技术有限公司、中国计量科学研究院、桂林电子科技大学,上海市计量测试技术研究院有限公司合作完成。历经二十余年攻关,项目团队制造出一系列纳米级长度和角度国家一级标准物质,为集成电路等纳米制造领域提供了校准与标定用的“精准标尺”。
作为项目重要承载地,松江区及洞泾镇通过产学研协同创新、政策扶持和产业生态构建,为技术攻关与成果转化提供了坚实保障。
计量是测量的科学及应用。测得出,才能造得出;测得准,才能造得精。纳米计量是实现纳米制造准确性的前提和保障。项目团队抓住国际单位制(SI)量子化变革的机遇,发明了量子化光晶格常数的纳米计量技术,缩短了纳米计量传递链,提升了扁平化水平,更适用于解决产业应用问题。
据了解,2024年1月,经国家市场监督管理总局批准,以同济大学为主体的“国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)”正式启动筹建,成为全国集成电路领域首批获批筹建的国家级产业计量测试中心之一;研究团队也获评首批“国家级计量创新团队”。伴随着国际计量学界“计量单位量子化”与“量值传递扁平化”的发展趋势,项目组基于量子化光晶格常数为纳米制造铸造的“精准标尺”,作为支撑先进纳米制造的质量基础和共性关键技术之一,将会不断迸发蓬勃生机,有力支撑纳米制造产业高质量发展。
项目取得良好进展,离不开地方政府接通产业链、创新链、人才链。作为长三角G60科创走廊策源地,上海松江区将该项目纳入“2+4”现代产业体系重点支持方向,联动松江大学城科创源与张江实验室资源,推动技术成果落地。2024年1月,国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心(上海)获批筹建,并于去年10月落户松江区洞泾镇科大智能产业园。
该中心作为松江区与同济大学区校共建的首发项目,依托区校共建机制,整合高校学科优势与区域产业需求,构建“技术研发—中试验证—产业应用”全链条服务体系。目前,中心正面向长三角集成电路企业开展计量测试服务,推进标准物质研制与设备校准,助力产业技术升级。
“成熟一个引进一个,构建‘企业出题目、同济有学科、园区有产线、G60有场景’的新型创新联合体。”G60创新研究中心主任贾占锋表示,研究院将采用“揭榜挂帅”、联合研究等方式,完善项目团队从同济大学到研究院的引入机制。
下一步,区校双方将在推动高能级平台建设、高精尖技术转化、高层次人才引育、高水平创新生态培养等方面携手并进,持续联动松江大学城科创资源,建立校企双向发榜机制,常态化开展企业技术服务与产学研精准对接,助力松江“2+4”现代化产业集聚,促进G60走廊九城市计量链、产业链、创新链、人才链深度融合,推动长三角G60科创走廊建设走深走实、放大效应,更好服务质量强国建设。